一种探针调节座
授权
摘要
本实用新型提出一种探针调节座。所述探针调节座包括，旋转电机，及连接于所述旋转电机的偏心部，旋转电机驱动偏心部旋转；偏心部设置有输出轴，偏心部的旋转轴线相对于输出轴轴线偏移距离为d；安装部，旋转电机安装于安装部；探针连接部通过第一线性运动部连接于安装部，使探针连接部能够相对于安装部沿第一方向运动；线性驱动部通过第二线性运动部连接于探针连接部，使线性驱动部能够相对于探针连接部沿第二方向运动；所述线性驱动部沿同时平行于第一方向和第二方向的平面转动连接于偏心部输出轴。
基本信息
专利标题 ：
一种探针调节座
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022301220.1
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-16
授权号 ：
CN213749965U
授权日 ：
2021-07-20
发明人 ：
杨应俊颜建武王胜利
申请人 ：
矽电半导体设备（深圳）股份有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙岗区龙城街道黄阁坑社区龙城工业园3号厂房三楼东区、五楼中西区
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202022301220.1
主分类号 ：
G01R1/04
IPC分类号 ：
G01R1/04 G01R1/067
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R1/00
包括在G01R5/00至G01R13/00或G01R31/00组中的各类仪器或装置的零部件
G01R1/02
一般结构零部件
G01R1/04
外壳；支承构件；端子装置
法律状态
2021-07-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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