基板旋转固持装置
授权
摘要
一种基板旋转固持装置，包含旋转机构及多个支撑单元。旋转机构包括具有承载面的旋转座。支撑单元布设于承载面用以共同支撑并固持基板。每一支撑单元包括座体、安装部、支撑部，及两个限位部。座体具有底面及顶面，安装部自底面延伸并连接旋转座，支撑部及限位部设于顶面，支撑部具有用以供基板的背面靠抵的接触弧面，所述限位部彼此相间隔且相较于支撑部远离承载面的中心以供基板的周缘靠抵。通过支撑部及限位部的配置能够使基板与支撑单元的接触区域容易干燥，且能扩张支撑单元之间可供放置基板的范围，以增加传送基板时的容许误差。
基本信息
专利标题 ：
基板旋转固持装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022305991.8
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-16
授权号 ：
CN212907698U
授权日 ：
2021-04-06
发明人 ：
冯传彰
申请人 ：
辛耘企业股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台北市
代理机构 ：
北京泰吉知识产权代理有限公司
代理人 ：
谢琼慧
优先权 ：
CN202022305991.8
主分类号 ：
H01L21/687
IPC分类号 ：
H01L21/687 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01L
半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21/00
专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21/67
专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21/683
用于支承或夹紧的
H01L21/687
使用机械装置的，例如卡盘、夹具或夹子
法律状态
2021-04-06 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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