点测装置
授权
摘要
本实用新型提供一种点测装置，其由下至上包括：平面运动部，旋转运动部及垂直运动部，该垂直运动部是由压电致动组件所组成，压电致动组件可通过施加电压产生Z轴方向的伸长或收缩的变形。承载盘装设在该垂直运动部的上方，通过所述压电致动组件的变形，该承载盘可以进行Z轴方向的上下运动，该点测针能够触碰到该承载盘上的待测组件。本实用新型将垂直运动部轻量化及小型化，减轻对下方装置的负重，且提高上下位移的速度，提高点测速度。
基本信息
专利标题 ：
点测装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022328697.9
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN214225331U
授权日 ：
2021-09-17
发明人 ：
陈志伟徐明达陈正泰
申请人 ：
豪勉科技股份有限公司
申请人地址 ：
中国台湾台北市大同区承德路1段70号3楼
代理机构 ：
北京汇泽知识产权代理有限公司
代理人 ：
关宇辰
优先权 ：
CN202022328697.9
主分类号 ：
G01R31/28
IPC分类号 ：
G01R31/28 G01R1/04
相关图片
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01R
测量电变量；测量磁变量
G01R31/28
•电路的测试，例如用信号故障寻测器
法律状态
2021-09-17 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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