一种纳米薄膜材料的镀膜设备
授权
摘要
本实用新型适用于复合纳米材料镀膜技术领域，公开了一种纳米薄膜材料的镀膜设备，包括外壳、液压杆、转换杆、蒸发舟、防水塞、工件、夹持盘、喷水管、翻转板、出水板，工件与夹持盘连接，转动加热杆与夹持盘固定在一起，水管与水管齿轮连接，可转动进入真空室，蒸发舟和防水塞可相互转换进入真空室，蒸发舟和转动加热杆上有涡流加热线圈。采用这样的结构能实现对加工件的清洗处理与真空纳米蒸镀的镀膜处理。
基本信息
专利标题 ：
一种纳米薄膜材料的镀膜设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022331064.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-19
授权号 ：
CN213357722U
授权日 ：
2021-06-04
发明人 ：
李志辉
申请人 ：
妙壳新材料科技（东莞）有限公司
申请人地址 ：
广东省东莞市长安镇霄边社区德政中路62号巨峰德荣工业园B栋一楼103
代理机构 ：
北京棘龙知识产权代理有限公司
代理人 ：
聂颖
优先权 ：
CN202022331064.3
主分类号 ：
C23C14/02
IPC分类号 ：
C23C14/02 C23C14/24
IPC结构图谱
C
C部——化学；冶金
C23
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面化学处理；金属材料的扩散处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆；金属材料腐蚀或积垢的一般抑制
C23C
对金属材料的镀覆；用金属材料对材料的镀覆；表面扩散法，化学转化或置换法的金属材料表面处理；真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C14/00
通过覆层形成材料的真空蒸发、溅射或离子注入进行镀覆
C23C14/02
待镀材料的预处理
法律状态
2021-06-04 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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