一种节能环保型连续式扩散炉
授权
摘要
本实用新型公开了一种节能环保型连续式扩散炉,包括气柜、散热底柜、反应柜和炉体,所述散热底柜顶端的一端安装有气柜,且气柜一侧的散热底柜顶端安装有反应柜,所述反应柜的内部均匀设置有炉体,且炉体的顶端和底端均安装有加热管,所述反应柜内部靠近气柜的一侧均匀安装有泄压结构,且反应柜一侧的散热底柜顶端安装有送料柜,所述送料柜一侧的散热底柜顶端安装有电柜,且电柜的一端均匀安装有PLC控制器,所述电柜内部远离气柜的一侧均匀安装有气动伸缩杆。本实用新型通过连接管将炉体内部的气体排入气筒内部并推动活塞使得弹性弹簧发生弹性形变缩短,直至活塞越过出气管,从而气体从出气管排出,完成自动泄压。
基本信息
专利标题 :
一种节能环保型连续式扩散炉
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202022348923.X
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2020-10-21
授权号 :
CN214130785U
授权日 :
2021-09-07
发明人 :
孙婧琦
申请人 :
江苏金圣硅基新材料研究院有限公司
申请人地址 :
江苏省徐州市新沂市棋盘工业集中区9号
代理机构 :
代理人 :
优先权 :
CN202022348923.X
主分类号 :
B01D46/10
IPC分类号 :
B01D46/10 B01D53/04 H01L21/22
IPC结构图谱
B
B部——作业;运输
B01
一般的物理或化学的方法或装置
B01D46/00
专门用于把弥散粒子从气体或蒸气中分离出来的经过改进的过滤器和过滤方法
B01D46/10
采用具有平表面的滤板、滤片或滤垫的粒子分离器,如聚尘器
法律状态
2021-09-07 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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