一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种在线无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置。本实用新型中的第一电离室和第二电离室均由真空腔室和真空泵组成，真空腔室由真空泵独立抽真空；第一电离室和第二电离室均安装有真空计和针阀；第一电离室内还配备电阻温度计，用于检测第一电离室内的环境温度。本实用新型中的带电粒子检测器包括离子约束电极板，加速电极板，分裂电极板，电流计，微型通道电子倍增管以及示波器。本实用新型对待测激光的脉冲能量及其空间位置信息实现同时在线无损检测，简化了检测的操作流程，兼顾了激光的检测与使用，使检测装置后端的用户用光效率大为提高，所获取的待测激光的检测参数更具时效性和精确性。
基本信息
专利标题 ：
一种无损检测极紫外激光脉冲能量及光束空间位置的装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022352060.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-10-21
授权号 ：
CN212871466U
授权日 ：
2021-04-02
发明人 ：
俞盛锐凌彩宁李万涛廖鸿
申请人 ：
浙江师范大学
申请人地址 ：
浙江省金华市婺城区迎宾大道688号
代理机构 ：
杭州奥创知识产权代理有限公司
代理人 ：
王佳健
优先权 ：
CN202022352060.3
主分类号 ：
G01J1/42
IPC分类号 ：
G01J1/42 G01J11/00
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01J
红外光、可见光、紫外光的强度、速度、光谱成分，偏振、相位或脉冲特性的测量；比色法；辐射高温测定法
G01J1/00
光度测定法，例如照相的曝光表
G01J1/42
采用电辐射检测器
法律状态
2021-04-02 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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