激光器脉冲能量测量装置、系统和方法

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摘要

本发明公开了一种激光器脉冲能量测量装置、系统和方法，该激光器脉冲能量测量装置包括：第一光路组件、第二光路组件和第三光路组件，第二光路组件与第一光路组件构成第一测量光路，第三光路组件与第一光路组件构成第二测量光路。其中，第一光路组件包括：沿第一测量光路或第二测量光路依次设置的第一分束镜和第二分束镜；其中，第一分束镜与第二分束镜构成正交结构。本发明通过对激光器能量测量装置的测量光路的正交设计，在激光器脉冲能量测量的过程中，减小了激光光束的参数变化对测量结果的影响，实现了激光器脉冲能量测量的高精度测量，同时实现了激光器的能量测量闭环反馈，确保了激光器能量输出的稳定性。

基本信息

专利标题：

激光器脉冲能量测量装置、系统和方法

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

CN111366241A

申请号：

CN202010244219.1

公开（公告）日：

2020-07-03

申请日：

2020-03-31

授权号：

CN111366241B

授权日：

2022-04-22

发明人：

刘广义江锐沙鹏飞韩晓泉赵江山殷青青廖密李一鸣冯泽斌

申请人：

北京科益虹源光电技术有限公司

申请人地址：

北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路156号10号楼二层

代理机构：

中科专利商标代理有限责任公司

代理人：

李佳

优先权：

CN202010244219.1

主分类号：

G01J1/42

IPC分类号：

G01J1/42 G01J1/04