用于脉冲离子束中离子能量测量的装置以及技术
实质审查的生效
摘要
一种装置可包括：第一束传感器，沿束线邻近第一位置设置。所述装置可还包括：第二束传感器，沿束线邻近第二位置设置在第一束传感器的下游的预定距离处。所述装置可包括：探测系统，耦合到第一束传感器及第二束传感器，以从脉冲离子束接收来自第一束传感器的第一电信号及来自第二束传感器的第二电信号。
基本信息
专利标题 ：
用于脉冲离子束中离子能量测量的装置以及技术
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114365256A
申请号 ：
CN202080059739.3
公开（公告）日 ：
2022-04-15
申请日 ：
2020-08-06
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
W·戴维斯·李
申请人 ：
应用材料股份有限公司
申请人地址 ：
美国加州圣塔克拉尔,鲍尔斯大道3050号(邮递区号:95054)
代理机构 ：
北京同立钧成知识产权代理有限公司
代理人 ：
刘文娜
优先权 ：
CN202080059739.3
主分类号 ：
H01J37/244
IPC分类号 ：
H01J37/244 H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/244
检测器；所采用的组件或电路
法律状态
2022-05-03 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/244
申请日 : 20200806
申请日 : 20200806
2022-04-15 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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