法拉第筒及离子束测量系统
公开
摘要
本申请涉及一种法拉第筒及离子束测量系统；所述法拉第筒包括：依次叠加的前端部，抑制组件，隔离组件和收集极组件；所述前端部开设有离子束收集口；其中，所述前端部设有测量口；所述收集极组件包括第一PCB板基板，所述第一PCB板基板的中部设有第一金属层，所述第一金属层边缘设有第一PCB绝缘层；被测量的离子束从所述前端部的离子束收集口进入，通过所述抑制组件屏蔽电子后由所述第一金属层收集，并用于检测离子束的束流数据；该技术方案，收集极组件采用PCB板制作，利用在PCB板基板上的PCB绝缘层和PCB绝缘层中部的金属层来收集离子束流，采用PCB工艺简化了法拉第筒结构，便于设备安装，且结构一致性好，生产制造成本低，后期维护简单。
基本信息
专利标题 ：
法拉第筒及离子束测量系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114296121A
申请号 ：
CN202111656546.9
公开（公告）日 ：
2022-04-08
申请日 ：
2021-12-30
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
刘伟基冀鸣易洪波赵刚
申请人 ：
中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室
代理机构 ：
广州市律帆知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
余永文
优先权 ：
CN202111656546.9
主分类号 ：
G01T1/29
IPC分类号 ：
G01T1/29 G01R29/24
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量；测试
G01T
核辐射或X射线辐射的测量
G01T1/175
电源电路
G01T1/29
对辐射束流的测量，例如，测量射束位置或截面；辐射的空间分布的测量
法律状态
2022-04-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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