低能离子束探测与离子束流强自平衡连锁控制系统
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摘要

本发明涉及一种低能离子束探测与离子束流强自平衡连锁控制系统,该系统包括:离子束探测单元,被配置为对离子束流强信号进行探测;数据采集与连锁单元,被配置为对采集的离子束流强信号进行数据分析与自平衡判断,实现被连锁设备的连锁及离子束流强调节,使核孔膜生产终端达到正常生产的流强条件;数据显示存储单元,被配置为获取所述数据采集与连锁单元信号,对核孔膜生产终端的数据和状态信息进行存储和显示。本发明可以实现低能量流强的探测,解决核孔膜生产时的流强探测不准的问题,实现束流流强的自平衡调节,并配合实现其它的生产联动。

基本信息
专利标题 :
低能离子束探测与离子束流强自平衡连锁控制系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
CN112987077A
申请号 :
CN202110305595.1
公开(公告)日 :
2021-06-18
申请日 :
2021-03-22
授权号 :
CN112987077B
授权日 :
2022-06-14
发明人 :
李运杰莫丹胡正国袁平段敬来姚会军刘杰王彦瑜武军霞张建川
申请人 :
中国科学院近代物理研究所
申请人地址 :
甘肃省兰州市城关区南昌路509号
代理机构 :
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 :
刘美丽
优先权 :
CN202110305595.1
主分类号 :
G01T1/29
IPC分类号 :
G01T1/29  G01T7/00  
IPC结构图谱
G
G部——物理
G01
测量;测试
G01T
核辐射或X射线辐射的测量
G01T1/175
电源电路
G01T1/29
对辐射束流的测量,例如,测量射束位置或截面;辐射的空间分布的测量
法律状态
2022-06-14 :
授权
2021-07-06 :
实质审查的生效
IPC(主分类) : G01T 1/29
申请日 : 20210322
2021-06-18 :
公开
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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