本发明提供一种离子束流分布的测定方法，包括：将离子束流注入至测量阵列；其中，测量阵列包括呈阵列式排布的多个测量单元；读取每一测量单元中的电流值，并将电流值大于零的所有测量单元定义为测量区域；根据测量区域中每一测量单元的电流值，计算出每一测量单元接收的离子束流的密度；至少根据离子束流的密度，计算出测量区域中的离子束流分布尺寸。可见，本发明是通过构建测量阵列来接收离子束流，并利用读取的电流值和计算出的离子束流的密度，获取离子束流分布的边界尺寸，测量方法简便且精度高。并且，测量阵列细分为多个呈阵列式排布的测量单元，以保证读取的电流值的精确度，从而提高了离子束流分布的尺寸的精准度。