本实用新型涉及离子束发生装置，包括腔体，腔体上开有空气入口及离子束出口，所述腔体由顺序连接的主腔体、上腔体及副腔体构成，所述空气入口位于所述主腔体上，所述离子束出口有二个，一级离子束出口位于所述主腔体的尾部，二级离子束出口位于所述副腔体的出口端，所述主腔体内顺序装置平面涡流器及第一离子束发生器，所述上腔体内装置螺旋涡流器，所述副腔体内装置第二离子束发生器。本实用新型可通过两级离子束发生器使气体导流、加速、聚焦及电离，可以生成高密度、高能量、高纯度的离子束。