一种离子束加工的修正装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子束加工的修正装置，涉及离子束加工技术领域，所述修正装置放置在离子源与工件之间，所述修正装置包括支架以及多个修正板，所述支架一侧设置有多个插接座，所述每个修正板的一端设置有插接口，所述修正板的其它位置设置有中空通槽，所述修正板上露出所述支架之外的所述中空通槽形成离子束通道。采用本实用新型，可以提高物理遮挡装置拆装的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种离子束加工的修正装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922117737.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-29
授权号 ：
CN211208386U
授权日 ：
2020-08-07
发明人 ：
王娇
申请人 ：
长春百纳光电子产品有限公司
申请人地址 ：
吉林省长春市高新区飞跃东路999号一层库房
代理机构 ：
北京轻创知识产权代理有限公司
代理人 ：
王欢
优先权 ：
CN201922117737.2
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-08-07 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
