离子源的离子束引出系统

专利权的终止

摘要

离子源的离子束引出系统，设有在同一中心线上轴向拉开距离的两片栅极，一片是加速栅(6)，其上设有带栅孔的圆形栅网区(6a)，另一片是屏栅(5)，其特征在于：屏栅(5)上设有带栅孔的矩形、或任意多边形、或椭圆形的栅网区(5a)。采用本实用新型的离子源可以引出截面为矩形，或任意多边形或椭圆形的离子束，而且当需要输出圆形或其它形状离子束时，只需更换一片屏栅即可，达到一机多用的目的。

基本信息

专利标题：

离子源的离子束引出系统

专利标题（英）：

暂无

公开（公告）号：

暂无

申请号：

CN200820127893.6

公开（公告）日：

暂无

申请日：

2008-08-07

授权号：

CN201256138Y

授权日：

2009-06-10

发明人：

冯毓材

申请人：

冯毓材

申请人地址：

北京市朝阳区南沙滩科学园南里513楼307室

代理机构：

北京中北知识产权代理有限公司

代理人：

吴立

优先权：

CN200820127893.6

主分类号：

H01J37/147

IPC分类号：

H01J37/147