离子源引出电极系统
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子源引出电极系统，包括等离子体电极和引出电极组，所述引出电机组在束流前进方向上依次包括第一地电极、抑制电极和第二地电极，其中，第一地电极和第二地电极接地，所述抑制电极接负压，所述等离子体电极接正压，所述等离子体电极和第一地电极之间的电场为引出电场，所述引出电场用于控制等离子体引出界面的曲率和形状。引入另一个地电极作为屏蔽地电极，用于电场屏蔽隔离等离子体电极和抑制电极，稳定引出电场和电场透镜电场，控制等离子体引出界面曲率和形状，从而来控制束流的初始形状，由此得到理想的束流形态。
基本信息
专利标题 ：
离子源引出电极系统
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202020259894.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-03-05
授权号 ：
CN211788911U
授权日 ：
2020-10-27
发明人 ：
洪俊华陈炯
申请人 ：
上海临港凯世通半导体有限公司;上海凯世通半导体股份有限公司
申请人地址 ：
上海市浦东新区南汇新城镇竹柏路750号207室
代理机构 ：
上海弼兴律师事务所
代理人 ：
薛琦
优先权 ：
CN202020259894.7
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2020-10-27 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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