离子引出栅极以及离子源
授权
摘要
本申请实施例提供一种离子引出栅极以及离子源。所述离子引出栅极的截面呈弧状，在离子引出栅极上设置有贯穿离子引出栅极且中心轴线为直线的多个孔部；其中，多个孔部中的至少一部分孔部的中心轴线与孔部周围的离子引出栅极的表面的切线不垂直，和/或，离子引出栅极的厚度根据孔部的大小和相邻孔部之间的间隔被确定。由此，离子能够高效地通过离子引出栅极的孔部，从而进一步提升离子源的效率；此外，可以在提高栅极的离子束引出效率从而加大离子束密度的同时，兼顾地提高栅极的机械强度和延长使用寿命。
基本信息
专利标题 ：
离子引出栅极以及离子源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123375764.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-29
授权号 ：
CN216528739U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
长江亦周青山贵昭宫内充祐松本繁治斋藤大嗣
申请人 ：
株式会社新柯隆
申请人地址 ：
日本神奈川县
代理机构 ：
北京三友知识产权代理有限公司
代理人 ：
田勇
优先权 ：
CN202123375764.3
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/147 H01J9/14
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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