一种离子束镀膜聚焦离子源
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子束镀膜聚焦离子源，包括放电室、安装在放电室内并与放电室绝缘的阳极筒、设置在阳极筒外周侧的若干磁极、安装在放电室的送气口前方且位于阳极筒内的阴极灯丝及依次安装在放电室正前方的聚焦屏栅和聚焦加速栅，阳极筒位于阴极灯丝的一端沿周开设有若干气孔，若干气孔上设有一圈中空的凸起，凸起与送气口连通。本实用新型提供一种离子束镀膜聚焦离子源，反应气体能够均匀分布在阳极筒内，提高了阴极灯丝发射的电子对反应气体电离度及均匀性。进而保证了产品的质量。
基本信息
专利标题 ：
一种离子束镀膜聚焦离子源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922420423.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-28
授权号 ：
CN211125568U
授权日 ：
2020-07-28
发明人 ：
安建昊唐欢欢
申请人 ：
江苏普拉斯玛机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922420423.X
主分类号 ：
H01J37/32
IPC分类号 ：
H01J37/32 C23C14/46
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/32
充气放电管
法律状态
2020-07-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
