离子源及离子源的运转方法
授权
摘要
本发明涉及一种离子源和离子源的运转方法，不论灯丝的丝径为何都可谋求与灯丝更换相关的离子源的稼动损失的降低。该离子源具备有：多根灯丝；控制装置，其个别地设定供给于各灯丝的通电电流；以及电压计，其量测在各灯丝的电压；其中，控制装置从设定的电流值与量测的电压值算出各灯丝的目前的电阻值，且根据基准的电阻值与目前的电阻值的差，将供给于各灯丝的通电电流进行再设定，以使各灯丝的目前的电阻值成为基准的电阻值。
基本信息
专利标题 ：
离子源及离子源的运转方法
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN109559963A
申请号 ：
CN201810725722.1
公开（公告）日 ：
2019-04-02
申请日 ：
2018-07-04
授权号 ：
CN109559963B
授权日 ：
2022-04-29
发明人 ：
平井裕也松本武
申请人 ：
日新离子机器株式会社
申请人地址 ：
日本京都府
代理机构 ：
隆天知识产权代理有限公司
代理人 ：
黄艳
优先权 ：
CN201810725722.1
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/32
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2022-04-29 ：
授权
2020-01-31 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/08
申请日 : 20180704
申请日 : 20180704
2019-04-02 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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