离子源的电源系统及离子源装置
授权
摘要
本申请涉及一种离子源的电源系统及离子源装置，该电源系统包括电源控制系统，驱动电源，至少两个调压电路；其中，电源控制系统连接驱动电源，驱动电源具有多个并联的电压输出通道，每个电压输出通道分别连接一个调压电路，每个调压电路连接至少一个霍尔离子源；电源控制系统控制驱动电源对输入电压进行变压，并将变压电压分别通过各个电压输出通道输入调压电路，各个调压电路分别对变压电压进行调压，并将调压电压输出至相应的霍尔离子源。离子源装置包括由多个霍尔离子源组成的离子源阵列，至少两个霍尔离子源通过上述的电源系统进行供电。该技术降低了电源系统的设备成本，避免了同一真空腔室的互相串扰问题，也降低了设置操作复杂性。
基本信息
专利标题 ：
离子源的电源系统及离子源装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021575802.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-31
授权号 ：
CN212323979U
授权日 ：
2021-01-08
发明人 ：
曾文华刘伟基冀鸣刘运鸿
申请人 ：
中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室
代理机构 ：
北京市立方律师事务所
代理人 ：
刘延喜
优先权 ：
CN202021575802.2
主分类号 ：
H02M1/00
IPC分类号 ：
H02M1/00 H02M3/00 H01J27/14 H01J27/02
法律状态
2021-01-08 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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