本实用新型公开了一种高压离子源电源，包含箱体组件、导线管、封盖组件、内电源组件，所述箱体组件的一侧外壁穿插有导线管，且箱体组件的上表面配合有封盖组件，所述箱体组件内远离导线管的一侧设有内电源组件，所述箱体组件中靠近内电源组件的一侧设有具有自我保护结构的控制组件，本实用新型在高压离子源电源中加装内部电源，以驱动电机运转防护组件，防护组件中设有转动翻转结构，可以将二极管接入电路的方向调换，利用二极管单向连通的特性，将主电路彻底阻断，形成有效的控制和保护，减小在开关离子源电源时产生电弧、静电放电现象的几率，使得高压离子源电源具有足够的内部防护性能。