射频离子源高压控制装置
授权
摘要
本实用新型涉及射频离子源技术领域，且公开了射频离子源高压控制装置，包括射频等离子发生器，所述射频等离子发生器的输入端与电压电流串口模块的输出端电性连接，所述电压电流串口模块的输入端与电源的输出端电性连接。使低电压进入升压升流器中进行升压和升流，之后再通过标准高电压互感器来感应电压和电流的情况，通过比较显示仪展示出电压电流的具体数值和比较数值相差多少，升压和升流后的电源经过标准电能表监控，然后再将该电压检测电路、电流检测电路和相位检测电路的检测，检测无误后，电压电流经过电源调整电路调整后，再次的经过电源输送至射频等离子发生器，依次类推，从而实现对低电压和低电流的监控和调整。
基本信息
专利标题 ：
射频离子源高压控制装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921918919.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-08
授权号 ：
CN211267225U
授权日 ：
2020-08-14
发明人 ：
李树瑜王一梅
申请人 ：
天津吉兆源科技有限公司
申请人地址 ：
天津市滨海新区滨海科技园日新道196号研发楼D2一层
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201921918919.3
主分类号 ：
H05H1/46
IPC分类号 ：
H05H1/46
法律状态
2020-08-14 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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