一种射频离子源装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种射频离子源装置，具有绝缘电离罩、射频线圈、绝缘底座和离子源盖板；射频线圈螺旋缠绕于绝缘电离罩的外壁上，且两端通过射频感抗匹配网络与射频电源相连；绝缘底座与绝缘电离罩底部固定；离子源盖板盖在绝缘电离罩上方；绝缘电离罩的顶部开设有离子发射口；射频线圈的外侧套接有屏蔽罩；屏蔽罩的外侧螺旋缠绕有天线；绝缘电离罩通过阀门和管道后与天线真空室连通，绝缘电离罩罩设于正离子收集极且与正离子收集极围合形成绝缘电离腔室；正离子收集极开设有用于通入惰性气体的进气通道，以及连通进气通道和绝缘电离腔室之间的惰性气体供气孔。本实用新型提高了天线的绝缘性能，同时不会因压差过大造成绝缘筒破碎。
基本信息
专利标题 ：
一种射频离子源装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921356401.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-20
授权号 ：
CN210467753U
授权日 ：
2020-05-05
发明人 ：
陈晓东
申请人 ：
常州鑫立离子技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市天宁区郑陆镇青松村
代理机构 ：
常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周颖洁
优先权 ：
CN201921356401.5
主分类号 ：
H01J27/16
IPC分类号 ：
H01J27/16 H01J49/10
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J27/00
离子束管
H01J27/02
离子源；离子枪
H01J27/16
用高频激励的，如微波激励
法律状态
2020-05-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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