可调制的射频离子源
授权
摘要
本公开提供了一种可调制的射频离子源，其特征在于，包括：离子源，用于发射等离子体；真空调制装置，与所述离子源的输出端密封连接，包括：至少一个栅网，用于处理所述等离子体；至少一个真空电馈入件，与所述至少一个栅网连接，用于向所述至少一个栅网提供电压。
基本信息
专利标题 ：
可调制的射频离子源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122604265.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-10-28
授权号 ：
CN216648217U
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
王艳会赵子淳叶雨城邹洁鹿建谢斌平
申请人 ：
费勉仪器科技（南京）有限公司;费勉仪器科技（上海）有限公司
申请人地址 ：
江苏省南京市江北新区智达路6号智城园区3号楼
代理机构 ：
上海国瓴律师事务所
代理人 ：
傅耀
优先权 ：
CN202122604265.0
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/18 H01J37/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2022-05-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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