一种射频线圈位置可调整的射频离子源
授权
摘要
本实用新型涉及一种射频线圈位置可调整的射频离子源，具有绝缘底座、上盖以及保护壳，保护壳上端固定在上盖上，保护壳下端固定在绝缘底座上，绝缘底座上设有进气通道，上盖上设有栅极组件，保护壳内安装有电离腔，电离腔外周套设有射频线圈，射频线圈上固定有高度调节装置，用来调整射频线圈在电离腔外的位置，高度调节装置包括固定组件、支撑柱以及固定螺母，固定组件通过支撑柱，穿过绝缘底座，最后与固定螺母旋紧固定。本实用新型的目的是克服现有技术存在的缺陷，提供一种射频线圈位置可调整的射频离子源。
基本信息
专利标题 ：
一种射频线圈位置可调整的射频离子源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201921361128.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-08-21
授权号 ：
CN210223933U
授权日 ：
2020-03-31
发明人 ：
陈晓东
申请人 ：
常州鑫立离子技术有限公司
申请人地址 ：
江苏省常州市天宁区郑陆镇青松村
代理机构 ：
常州唯思百得知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
周颖洁
优先权 ：
CN201921361128.5
主分类号 ：
H01J3/04
IPC分类号 ：
H01J3/04
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J3/00
通用于两种或两种以上基本类型的放电管或灯的电子光学或离子光学装置的零部件或离子阱的零部件
H01J3/04
离子枪
法律状态
2020-03-31 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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