本实用新型公开了一种新型射频离子源，具体涉及离子源技术领域，包括底座，所述底座顶部开设有第一滑槽，所述第一滑槽内滑动连接有两个滑块，所述滑块顶部固定连接有滑杆，所述滑杆外侧壁滑动连接有滑套，所述滑套外壁嵌设有固定座，所述固定座内腔两侧均开设有第二滑槽，且两侧第二滑槽内滑动连接有滑板。本实用新型通过设置夹持板和吸热座，射频离子源本体固定在夹持板内腔，吸热的减震垫能够将热量导入夹持板和吸热座内，两侧的吸热座将热量通过导热柱导入散热片内，空气流动带走散热片表面的热量，从而能够有效避免热量的堆积，与现有技术相比保证了射频离子源本体工作状态的稳定性，满足了使用需要。