本实用新型提供一种射频离子源启动灯丝装置，包括进气管、上法兰绝缘压板、上法兰盖板、压紧螺栓、下法兰绝缘压板、钼棒、绝缘陶瓷、固定钼座、钼座法兰、真空密封圈、冷却水管和法兰盖板；所述进气管和钼座法兰及钼棒焊接成一体安装在下法兰绝缘压板上，整体再安装在下法兰盖板上；压紧螺栓将上法兰盖板和上法兰绝缘压板安装在下法兰盖板上，通过拧紧压紧螺栓压紧第一真空密封圈、第二真空密封圈、第三真空密封圈实现真空密封；绝缘陶瓷通过固定钼座安装在下法兰盖板上；其中，启动灯丝装置采用钼棒作为脉冲高压正极，钼座作为脉冲高压负极，利用高压击穿电离建立等离子体，同时充当进气装置安装在驱动盖板中间，避免等离子体放电的不均匀性。