一种离子源灯丝结构及离子源装置
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子源灯丝结构,包括底座、至少两个灯丝和切换开关模块,所述至少两个灯丝设置于所述底座的同一侧上且通过所述切换开关模块连接至外部电源;所述切换开关模块具有与所述外部电源连接的输入端和分别与所述至少两个灯丝对应连接的至少两个输出端,所述输入端可切换连接至其中一个输出端。该离子源灯丝结构可降低对离子注入设备进行保养维护的人力成本和时间成本,还可提高生产效率。本实用新型还公开了一种离子源装置。
基本信息
专利标题 :
一种离子源灯丝结构及离子源装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201922222998.0
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-12-12
授权号 :
CN210668267U
授权日 :
2020-06-02
发明人 :
雷明伟周波杨曲林锦辉
申请人 :
信利(仁寿)高端显示科技有限公司
申请人地址 :
四川省眉山市仁寿县文林工业园区管委会办公楼一楼
代理机构 :
广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 :
李健威
优先权 :
CN201922222998.0
主分类号 :
H01J37/08
IPC分类号 :
H01J37/08 H01J37/317 H01J37/24
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置,如电子光学装置,离子光学装置
H01J37/08
离子源;离子枪
法律状态
2020-06-02 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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