本申请实施例提供一种用于离子源灯丝的安装工具，包括：固定杆，具有第一端面，用于与灯丝夹端面抵接；调节组件，滑动设置于固定杆，可相对于固定杆移动；调节组件设有朝向第一端面且与第一端面平行的第一抵接面和第二抵接面，沿固定杆长度方向的第一抵接面到第一端面的距离与第二抵接面到第一端面的距离的差值为目标距离，目标距离为离子源的灯丝与阴极之间的距离。本申请实施例提供的安装工具能够准确掌控灯丝与阴极的间隔距离，不仅保证了工艺的稳定性，而且还延长了灯丝的使用寿命，减少了更换离子源灯丝的次数，减少了人力成本和维护时间。