本实用新型属于装配定位技术领域，具体公开了一种离子注入机辅助工具进行离子源阴极安装校准装置，包括旋转盘、刻度盘、转动轴和轴套，所述轴套顶部设置有底盘，所述底盘顶部中间的位置设置有刻度盘，所述轴套穿过底盘并固定连接有刻度盘，所述刻度盘采用三百六十度刻度，所述刻度盘上方设置有旋转盘，所述旋转盘一侧设置有指针，所述旋转盘顶部连接有转动柱，所述轴套内部套设有转动轴，所述转动轴一端穿过刻度盘并连接有旋转盘，所述转动轴与轴套之间采用转动连接，所述刻度盘顶部于转动轴外侧固定连接有齿盘，本实用新型进行离子源阴极安装校准的方法简便易行，定位准确，避免了手工操作中由于人为因素造成的误差，重复性好。