离子源中的阴极和反阴极装置
授权
摘要
本发明涉及适合于离子注入机(10)的离子源(14)，其包括阴极(20)和反阴极(44)。典型的，离子源保持在真空下并使用弧室(16)中产生的等离子体制造离子。从弧室提取等离子体离子，之后将其注入到半导体晶片(12)中。根据本发明的离子源进一步包括发射电子到弧室中的阴极(40)；安置在弧室使得由此阴极发射的电子是入射在其上的电极(44)；用于给该电极加偏压的一个或一个以上的电压电位源(76)；和电压电位调节器(82)，其可操作用于在正向偏压电极从而作为阳极的电压电位源和负向偏压电极从而作为反阴极的电压电位源之间转换。
基本信息
专利标题 ：
离子源中的阴极和反阴极装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN101147227A
申请号 ：
CN200680009501.X
公开（公告）日 ：
2008-03-19
申请日 ：
2006-03-22
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
R·D·戈德堡C·J·S·伯吉斯A·S·第维尼D·G·阿默D·柯克伍德
申请人 ：
应用材料有限公司
申请人地址 ：
美国加利福尼亚州
代理机构 ：
北京纪凯知识产权代理有限公司
代理人 ：
赵蓉民
优先权 ：
CN200680009501.X
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2010-05-19 ：
授权
2008-05-21 ：
实质审查的生效
2008-03-19 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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