离子源电场结构及离子源装置
授权
摘要
本申请涉及一种离子源电场结构及离子源装置，离子源电场结构包括：包括设于外壳内的阳极部件，在所述阳极部件与外壳之间还设置有一个隔离金属层；所述隔离金属层为与所述阳极部件相对应的环形设计，与所述阳极部件和外壳保持绝缘状态；所述隔离金属层通过所述阳极部件感应一电压的电场，通过该电场对离子源发出的离子束的发射角度进行控制。本申请的技术方案，通过在阳极部件与外壳之间设置的与阳极部件相对应的环形设计的隔离金属层；隔离金属层处于悬浮电位，通过阳极部件感应一电压的电场，通过该电场对离子源发出的离子束的发射角度进行控制；该电场结构可以有效控制离子源的离子束发射角范围，提高了离子源发射离子束的集中效果。
基本信息
专利标题 ：
离子源电场结构及离子源装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202021413081.5
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-07-16
授权号 ：
CN212659507U
授权日 ：
2021-03-05
发明人 ：
刘伟基冀鸣赵刚易洪波吴秋生刘运鸿
申请人 ：
中山市博顿光电科技有限公司;佛山市博顿光电科技有限公司
申请人地址 ：
广东省中山市火炬开发区科技东路39号之二219、220室
代理机构 ：
北京市立方律师事务所
代理人 ：
刘延喜
优先权 ：
CN202021413081.5
主分类号 ：
H01J27/14
IPC分类号 ：
H01J27/14 H01J27/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J27/00
离子束管
H01J27/02
离子源；离子枪
H01J27/08
应用电弧放电的
H01J27/14
用外加磁场的其他电弧放电离子源
法律状态
2021-03-05 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
暂无PDF文件可下载
