长寿命离子源中的间热式阴极固定装置
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要

本实用新型公开了一种长寿命离子源中的间热式阴极固定装置,包括石墨热屏蔽板、阴极连接螺孔、两固定连接孔、两阴极引线螺孔及两定位销钉:所述的石墨热屏蔽板为高纯石墨材料,具有良好的耐高温、抗腐蚀性能,通过阴极连接螺孔安装阴极,并对放电弧室进行热屏蔽隔离;所述的阴极连接螺孔安装间热式阴极,固定连接孔安装固定石墨热屏蔽板于陶瓷绝缘块上;阴极引线螺孔连接阴极高电位引线;定位销钉使石墨热屏蔽板与陶瓷绝缘块相对位置保持不变,本实用新型结构连接稳定可靠,具有抗热变形、抗高温腐蚀性能好特点;同时结构连接操作方便,可靠性好,保证了离子源长期工作的稳定可靠性。

基本信息
专利标题 :
长寿命离子源中的间热式阴极固定装置
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620113057.3
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-04-24
授权号 :
CN200953336Y
授权日 :
2007-09-26
发明人 :
伍三忠戴习毛易文杰许波涛
申请人 :
北京中科信电子装备有限公司
申请人地址 :
100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段
代理机构 :
北京中海智圣知识产权代理有限公司
代理人 :
曾永珠
优先权 :
CN200620113057.3
主分类号 :
H01J37/08
IPC分类号 :
H01J37/08  H01J37/317  H01L21/265  H01L21/425  C30B31/22  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置,如电子光学装置,离子光学装置
H01J37/08
离子源;离子枪
法律状态
2009-06-17 :
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-09-26 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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