一种直热式固体金属离子源
授权
摘要
本发明公开了一种直热式固体金属离子源，包括离子源弧室、灯丝部件和含铝部件，灯丝部件包括灯丝端面、螺旋侧面和导电部，灯丝端面由单根灯丝径向盘旋形成，螺旋侧面由单根灯丝轴向螺旋形成，导电部与灯丝端面和螺旋侧面连接，含铝部件包括相互连接的第一环体和第二环体，离子源弧室一端具有安装孔，第二环体装于安装孔内，第一环体伸入离子源弧室内，灯丝端面和螺旋侧面设于第一环体内，导电部穿出第二环体位于离子源弧室外。本发明简化了离子源本身和其外围配电的结果，提高了离子源运行的可靠性，同时Al离子源的寿命有较大程度的提升。
基本信息
专利标题 ：
一种直热式固体金属离子源
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN111128650A
申请号 ：
CN201811276370.2
公开（公告）日 ：
2020-05-08
申请日 ：
2018-10-30
授权号 ：
CN111128650B
授权日 ：
2022-05-31
发明人 ：
张赛彭立波易文杰袁卫华金则军王迪平
申请人 ：
中国电子科技集团公司第四十八研究所
申请人地址 ：
湖南省长沙市天心区新开铺路1025号
代理机构 ：
湖南兆弘专利事务所(普通合伙)
代理人 ：
周长清
优先权 ：
CN201811276370.2
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/24 H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2022-05-31 ：
授权
2020-06-02 ：
实质审查的生效
IPC(主分类) : H01J 37/08
申请日 : 20181030
申请日 : 20181030
2020-05-08 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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