离子源及具有该离子源的电子设备
授权
摘要

本申请实施例提供一种离子源及具有该离子源的电子设备,其中,离子源包括弧室,弧室内设有容置腔;隔板,设置在容置腔内,将容置腔分隔为隔离区和电离区;灯丝,具有安装端和发射部,其中,灯丝通过安装端设置于隔离区侧的弧室端板上;发射部位于电离区;绝缘子,设置于隔离区侧的弧室端板上,灯丝的安装端从绝缘子中穿过。通过在弧室内设置隔板,可以阻止绝大部分等离子体向绝缘子一侧移动,避免等离子体在绝缘子表面沉积,进而保护绝缘子,延长绝缘作用,提升离子源的稳定性,降低离子源的维护频度。

基本信息
专利标题 :
离子源及具有该离子源的电子设备
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN202123295499.8
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2021-12-24
授权号 :
CN216671555U
授权日 :
2022-06-03
发明人 :
霍达侯浩刘志强喻阳王雪超
申请人 :
北京燕东微电子科技有限公司
申请人地址 :
北京市大兴区北京经济技术开发区经海四路51号院1号楼5层516
代理机构 :
北京科慧致远知识产权代理有限公司
代理人 :
李瑞
优先权 :
CN202123295499.8
主分类号 :
H01J37/08
IPC分类号 :
H01J37/08  H01J37/317  
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置,如电子光学装置,离子光学装置
H01J37/08
离子源;离子枪
法律状态
2022-06-03 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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