一种具有密封片的离子源装置
授权
摘要
本实用新型提供一种具有密封片的离子源装置，其具有密封片的离子源装置包括坩埚、通道部件以及起弧室；坩埚为一端具有底部、另一端为开口的容器；通道部件的上端与起弧室相连接并连通；在坩埚的内侧面上还具有环形的挡肩；通道部件与挡肩之间设置有环形的密封片，密封片的一面抵触于通道部件的下端面，密封片的另一面抵触在挡肩上。本实用新型具有密封片的离子源装置基本不会漏气，生产效率高；此外，即使螺纹卡死也可卸下坩埚，这就保证了通道部件与坩埚之间不粘连、易分离，从而提升了机台有效运行时长，降低了机台维护频次与成本。
基本信息
专利标题 ：
一种具有密封片的离子源装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123227400.0
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-21
授权号 ：
CN216528736U
授权日 ：
2022-05-13
发明人 ：
张林凯李轩张彦彬贾礼宾王振辉王亚张欣孙世豪卢合强高国珺沈斌夏世伟张劲
申请人 ：
北京凯世通半导体有限公司
申请人地址 ：
北京市大兴区北京经济技术开发区地盛西路1号数码庄园A2座
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN202123227400.0
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/317 H01L21/67
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2022-05-13 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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