一种射频离子源中和器的电极
授权
摘要
本实用新型公开了一种射频离子源中和器的电极，所述电极为非闭环的杯状体，在杯状体的环上设置有两个以上缺口，在所述杯状体的环上，缺口设置有2N‑1个，其中，N为不含0和1的自然数；其中一个缺口开口中线与环口的开口中线为同一中线；剩余缺口中以环的中心线为对称轴，相对的两个缺口的开口中线为同一中线，解决现有技术的不足之处，将该电极应用到射频离子源中和器中，能够使得更多的射频能量进入陶瓷杯内，增加离化效率，又不是很大的减少电子发射的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种射频离子源中和器的电极
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202122158259.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-09-08
授权号 ：
CN216161685U
授权日 ：
2022-04-01
发明人 ：
王伟张勇军卢成
申请人 ：
成都国泰真空设备有限公司
申请人地址 ：
四川省成都市温江区成都海峡两岸科技产业开发园科林西路618号
代理机构 ：
成都其高专利代理事务所(特殊普通合伙)
代理人 ：
贾波
优先权 ：
CN202122158259.7
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/32 C23C14/32
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2022-04-01 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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