一种可调式离子源用中和器
授权
摘要
本实用新型公开了一种可调式离子源用中和器，包括离子源和设置在离子源正前端的真空室，真空室内的两侧分别设有中和器，中和器的中下部铰接支撑杆的一端，支撑杆的另一端固定在真空室的内侧壁上，中和器的下端铰接推拉杆的一端，推拉杆的另一端固接在气动伸缩杆的伸缩端，气动伸缩杆的固定端上包裹有隔热层，气动伸缩杆的固定端穿过真空室的侧壁，隔热层与真空室的侧壁间隙之间安装有金属密封件。本实用新型中和器与离子源分开，且能够调整中和器的位置，中和器寿命长，中和的效率高。
基本信息
专利标题 ：
一种可调式离子源用中和器
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922430506.7
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-12-29
授权号 ：
CN211719555U
授权日 ：
2020-10-20
发明人 ：
安建昊唐欢欢
申请人 ：
江苏普拉斯玛机械有限公司
申请人地址 ：
江苏省扬州市广陵区广陵产业园沙湾南路17号
代理机构 ：
代理人 ：
优先权 ：
CN201922430506.7
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2020-10-20 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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