本实用新型公开了离子注入机中离子发生器，包括狭缝组件，所述狭缝组件安装在离子源的起弧室的出口处；所述狭缝组件至少包括壳体，其中壳体为矩形壳体，壳体的上下两端均开口设置，壳体的左右两端均固定连接有连接板，连接板上均开设有螺孔槽；所述壳体的下端为离子出口，壳体的上端为离子进口，壳体的内腔内设置有两组平行设置的石墨棒组，石墨棒组由若干平行设置的石墨棒组成，石墨棒包括芯棒和石墨层；本实用新型可以保证离子注入机在使用过程中，离子注入机离子源产生的离子束不会由于石墨棒的弯曲变形而变得不均匀；防止起弧室出口端的狭缝组件发生形变，保证工艺的稳定性。