一种绝缘子及其组成的离子源、离子注入装置
公开
摘要
本发明涉及一种绝缘子及其组成的离子源、离子注入装置。一种绝缘子，其特征在于，包括：一个立柱本体，所述立柱本体具有两个自由端：第一自由端和第二自由端；由第一自由端至第二自由端所述立柱本体具有不等值的直径，并且中心处的直径值最小。本发明的绝缘子具有更大的比表面积，能够延缓离子束的污染，使用周期更长。
基本信息
专利标题 ：
一种绝缘子及其组成的离子源、离子注入装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
CN114566413A
申请号 ：
CN202011360191.4
公开（公告）日 ：
2022-05-31
申请日 ：
2020-11-27
授权号 ：
暂无
授权日 ：
暂无
发明人 ：
朴兴雨李河圣朱宁炳刘金彪刘青张琦辉李琳王垚
申请人 ：
中国科学院微电子研究所;真芯（北京）半导体有限责任公司
申请人地址 ：
北京市朝阳区北土城西路3号
代理机构 ：
北京辰权知识产权代理有限公司
代理人 ：
金铭
优先权 ：
CN202011360191.4
主分类号 ：
H01J37/02
IPC分类号 ：
H01J37/02 H01J37/08 H01J37/317
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
法律状态
2022-05-31 ：
公开
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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