本实用新型提供了一种用于碳离子注入工艺的离子源装置，其包括起弧室、盖板、灯丝、阴极和通气孔；其中，起弧室，用于电子与气体分子碰撞产生等离子体的腔室；盖板，其上设置有用于引出等离子体的引出缝，将等离子体引出起弧室；灯丝，其被加热之后产生第一组电子，第一组电子用于加热阴极；阴极，其被加热后，产生第二组电子，第二组电子用于起弧；通气孔，其设置在起弧室的内壁，用于向起弧室输入气体。本用于碳离子注入工艺的离子源装置可获得束流更大且更为纯净的碳离子束，并且减少了碳在起弧室、盖板、引出缝位置的堆积，从而减少了污染，提高了注入的质量，提升了产品良率。