一种离子注入高温靶盘，包括带冷却水槽的靶盘座，靶盘座外周的晶片夹卡机构经支条同靶盘座相连，二点卡子经其连接角块固定在支条外端部，该支条上开有一条凹槽且其中置有移动板，装有硅衬板的支条的凹槽面有盖板，单点卡子固定在移动板的前部，位于所述支条内端部的夹紧弹簧的两端分别同该支条和移动板连接并在该夹紧弹簧的力作用下使移动板朝晶片中心移动；移动板上装有限位钉，支条上还装有位于移动板外端而顶端为斜面的晶片顶柱和可上、下运动的晶片顶杆；二点卡子和单点卡子用高纯硅制作，支条、移动板、盖板及所述各连接角块、螺钉用钼材料制作。本发明能使高温离子注入机在400℃－800℃的高温环境下对半导体晶片进行连续正常注片。