离子注入机用护板及离子注入机
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子注入机用护板，包括若干用于遮挡离子注入机工艺腔内壁的单元板，若干所述单元板可拆卸的设于工艺腔内。本实用新型还公开一种离子注入机，包括工艺腔，所述工艺腔内可拆卸的设有护板。本实用新型提供的离子注入机用护板及离子注入机，提高了离子注入机的稼动率。
基本信息
专利标题 ：
离子注入机用护板及离子注入机
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202022142379.3
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2020-09-24
授权号 ：
CN212725222U
授权日 ：
2021-03-16
发明人 ：
吴奥明李前凤
申请人 ：
深圳亿博尔电子科技有限公司
申请人地址 ：
广东省深圳市龙华区大浪街道同胜社区枭龙路4号源创园B栋311
代理机构 ：
深圳茂达智联知识产权代理事务所(普通合伙)
代理人 ：
张凡
优先权 ：
CN202022142379.3
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01J37/30
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2021-03-16 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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