用于离子注入机的检验校对装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于离子注入机的检验校对装置，包括：壳体，壳体内设有安装腔，壳体上设有与安装腔联通的开口；夹持机构，夹持机构包括：夹持块，夹持块对称设置，夹持块底部设有驱动齿条，夹持块通过开口延时至安装腔外；驱动齿轮，驱动齿轮对称设置，驱动齿轮转动连接于壳体内壁上，驱动齿轮与驱动齿条相啮合，驱动齿轮的端面设有向外周延伸的连接部；推动机构，推动机构与连接部转动连接，推动机构通过推动以带动驱动齿轮转动。本实用新型具有以下优点和效果：能够快速的对待注入件进行夹持或释放，且操作较为方便。
基本信息
专利标题 ：
用于离子注入机的检验校对装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123052409.2
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-07
授权号 ：
CN216597493U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
彭强祥刘仁杰
申请人 ：
浙江中科尚弘离子装备工程有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道木业大道1111号2号楼313室
代理机构 ：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 ：
李勤学
优先权 ：
CN202123052409.2
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01J37/20
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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