用于离子注入机的散热装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于离子注入机的散热装置，包括：壳体，壳体可拆卸固定在离子注入机外壁位于靠近内磁场热源位置，壳体内设有安装槽，安装槽槽口上固定有导热板，安装槽内注有冷却液；冷却管道，冷却管道安装于导热板朝向安装槽的端面上；泵体，泵体用于将冷却液引导至冷却管道内并最终从冷却管道的端部排出；排风机构，壳体上设有排风口，排风口与安装槽联通，排风机构安装于排风口内，排风机构用于将安装槽内部空气与外部空气进行交换。本实用新型具有以下优点和效果：能够提高降温效果和降温效率。
基本信息
专利标题 ：
用于离子注入机的散热装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123112844.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-13
授权号 ：
CN216597495U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
彭强祥刘仁杰史进苏凯
申请人 ：
浙江中科尚弘离子装备工程有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道木业大道1111号2号楼313室
代理机构 ：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 ：
李勤学
优先权 ：
CN202123112844.X
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01J37/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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