本实用新型涉及一种离子注入设备。现有的离子注入设备因通过电磁驱动装置驱动离子束水平运动，而存在离子注入设备体积过大及成本过高的问题。本实用新型的离子注入设备，其包括底座、离子束产生装置、基座、晶圆台和晶圆台驱动装置，其中，该晶圆台驱动装置包括垂直运动驱动装置和转动驱动装置，该转动驱动装置配合垂直运动驱动装置驱动晶圆台运动使该离子束产生装置发射的离子束可注入至放置在晶圆台上的晶圆面上的任一点。采用本实用新型能避免使用电磁驱动装置驱动离子束水平运动而造成的离子注入设备过大及成本过高的问题。