一种离子注入设备
授权
摘要
本实用新型公开了一种离子注入设备，包括制程腔室和离子注入装置，所述离子注入装置与所述制程腔室的离子注入口相连通以向所述制程腔室内发射离子束，以及用于将掩膜板传送至所述制程腔室内的第一传送装置；还包括用于将至少两基板传送至所述制程腔室内的至少两第二传送装置，一第二传送装置对应传送一基板，所述至少两基板在所述制程腔室内于所述掩膜板背向所述离子注入口的一侧相间隔层叠。该离子注入设备可提高离子注入的效率。
基本信息
专利标题 ：
一种离子注入设备
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN201922093347.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2019-11-28
授权号 ：
CN210429730U
授权日 ：
2020-04-28
发明人 ：
周波林锦辉陈飞郑志雄吴虎
申请人 ：
信利（仁寿）高端显示科技有限公司
申请人地址 ：
四川省眉山市仁寿县文林工业园区管委会办公楼一楼
代理机构 ：
广州粤高专利商标代理有限公司
代理人 ：
李健威
优先权 ：
CN201922093347.6
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01L21/266 H01L21/677 H01L21/68
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2020-04-28 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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1、
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