离子注入设备的灯丝
专利权的终止
摘要
本实用新型公开一种离子注入设备的灯丝，该灯丝包括释放电子的释放电子部分和接通电压的接脚部分。灯丝的释放电子部分设置成至少两层，其中每层为W型。与现有技术相比，本实用新型的灯丝不仅不易被烧断，延长了使用寿命，而且提高了释放电子的能力。
基本信息
专利标题 ：
离子注入设备的灯丝
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN200720067979.X
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2007-03-20
授权号 ：
CN201038119Y
授权日 ：
2008-03-19
发明人 ：
史旭张勇单易飞李虓
申请人 ：
中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
申请人地址 ：
201203上海市张江路18号
代理机构 ：
上海智信专利代理有限公司
代理人 ：
王洁
优先权 ：
CN200720067979.X
主分类号 ：
H01J37/08
IPC分类号 ：
H01J37/08 H01J37/317 H01J27/08 H01L21/265
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
H01J37/04
电极装置及与产生或控制放电的部件有关的装置，如电子光学装置，离子光学装置
H01J37/08
离子源；离子枪
法律状态
2017-04-26 ：
专利权的终止
专利权有效期届满号牌文件类型代码 : 1611
号牌文件序号 : 101716387438
IPC(主分类) : H01J 37/08
专利号 : ZL200720067979X
申请日 : 20070320
授权公告日 : 20080319
终止日期 : 无
号牌文件序号 : 101716387438
IPC(主分类) : H01J 37/08
专利号 : ZL200720067979X
申请日 : 20070320
授权公告日 : 20080319
终止日期 : 无
2013-04-17 ：
专利申请权、专利权的转移
专利权的转移变更事项 : 专利权人
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130328
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101571204952
IPC(主分类) : H01J 37/08
专利号 : ZL200720067979X
变更前权利人 : 中芯国际集成电路制造(上海)有限公司
变更后权利人 : 中芯国际集成电路制造(北京)有限公司
变更事项 : 地址
变更前权利人 : 201203 上海市张江路18号
变更后权利人 : 100176 北京市北京经济技术开发区文昌大道18号
登记生效日 : 20130328
号牌文件类型代码 : 1602
号牌文件序号 : 101571204952
IPC(主分类) : H01J 37/08
专利号 : ZL200720067979X
2008-03-19 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
文件下载
1、
CN201038119Y.PDF
PDF下载
