用于离子注入机的离子轰击碰撞装置
授权
摘要
本实用新型涉及一种用于离子注入机的离子轰击碰撞装置，包括：离子注入机外防护筒；固定板，固定板对称设置于离子注入机外防护筒两侧；支撑机构，支撑机构对称设置于离子注入机外防护筒两侧，并分别于对应固定板连接；往复摆动机构，往复摆动机构对称设置于离子注入机外防护筒两侧，并彼此相向固定在两侧固定板端面上；延长臂，延长臂一端与往复摆动机构固定连接，另一端转动连接于离子注入机外防护筒的外壁，以增加离子注入机外防护筒与往复摆动机构之间的连接距离，往复摆动机构用于驱动延长臂往复摆动，以带动离子注入机外防护筒往复摆动。本实用新型具有以下优点和效果：能够增加摆动幅度，使得离子的轰击碰撞更充分，提高轰击碰撞的效果。
基本信息
专利标题 ：
用于离子注入机的离子轰击碰撞装置
专利标题（英）：
暂无
公开（公告）号 ：
暂无
申请号 ：
CN202123051197.6
公开（公告）日 ：
暂无
申请日 ：
2021-12-07
授权号 ：
CN216597492U
授权日 ：
2022-05-24
发明人 ：
彭强祥刘仁杰
申请人 ：
浙江中科尚弘离子装备工程有限公司
申请人地址 ：
浙江省嘉兴市嘉善县魏塘街道木业大道1111号2号楼313室
代理机构 ：
上海伯瑞杰知识产权代理有限公司
代理人 ：
李勤学
优先权 ：
CN202123051197.6
主分类号 ：
H01J37/317
IPC分类号 ：
H01J37/317 H01J37/02
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管，例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的，如离子注入
法律状态
2022-05-24 ：
授权
注：本法律状态信息仅供参考，即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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