离子注入机磁分析系统
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
摘要

本实用新型公开了一种离子注入机磁分析系统,包括电源控制器、大功率开关电源、霍尔放大器、霍尔探头和磁分析器,其中电源控制器将磁分析器所需的磁场数字信号转化成模拟信号送到大功率开关电源的磁场控制端,大功率开关电源接受控制信号后,输出一定的电压到此分析器,该电压在磁分析器上、下线包中产生一定的电流,并产生一定的磁场,置于分析器磁场中的霍尔探头检测到磁场,并转化为一个微小的电压量,经过霍尔放大器放大后送到大功率开关电源的比较端与磁场控制端设定的磁场量进行比较,大功率开关电源根据比较结果调整输出电压,使霍尔探头检测到的实际磁场与设定磁场一致。本实用新型产生的磁场稳定,使离子注入束流稳定性好及束流纯度高。

基本信息
专利标题 :
离子注入机磁分析系统
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN200620012982.7
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2006-04-07
授权号 :
CN200959327Y
授权日 :
2007-10-10
发明人 :
孙雪平郭健辉田小海文超
申请人 :
北京中科信电子装备有限公司
申请人地址 :
100036北京市海淀区复兴路乙20号汇通商务楼北门44号办公楼2层东段
代理机构 :
北京中海智圣知识产权代理有限公司
代理人 :
曾永珠
优先权 :
CN200620012982.7
主分类号 :
H01J37/02
IPC分类号 :
H01J37/02  H01J37/317  H01L21/265  H01L21/425  
相关图片
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/02
零部件
法律状态
2009-09-23 :
专利权的终止(未缴年费专利权终止)
2007-10-10 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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