一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管
授权
摘要
本实用新型公开了一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管,属于半导体工艺设备技术领域,其技术方案要点是,包括外弯管和内弯管,外弯管上端口的外沿铸有第一凸缘,第一凸缘的上端面同轴开设有嵌入槽,嵌入槽的侧壁径向开设有四个插槽;内弯管从外弯管的上端口插入至外弯管的内部,内弯管上端口的外沿铸有第二凸缘,第二凸缘的侧壁径向开设有四个滑槽,滑槽的上壁开设有与第二凸缘的上端面相贯通的开口,每个滑槽的内部均滑动设置有插块。该种耐冲击离子传输管具有很好的耐冲击性,即使长年累月受到高温、高速离子束的冲击,也不容易被击穿、出现漏点,确保离子注入机能够长期正常使用,同时维修起来也方便。
基本信息
专利标题 :
一种耐冲击性好的离子注入机质量分析器前端离子传输管
专利标题(英):
暂无
公开(公告)号 :
暂无
申请号 :
CN201921948659.4
公开(公告)日 :
暂无
申请日 :
2019-11-13
授权号 :
CN210378965U
授权日 :
2020-04-21
发明人 :
薛芳峰吴方军乔德定严建华喻建华余秋根
申请人 :
德兴市意发功率半导体有限公司
申请人地址 :
江西省上饶市德兴市高新技术产业园
代理机构 :
南昌卓尔精诚专利代理事务所(普通合伙)
代理人 :
陈志辉
优先权 :
CN201921948659.4
主分类号 :
H01J37/317
IPC分类号 :
H01J37/317 H01J37/05 H01L21/67 H01L21/265
IPC结构图谱
H
H部——电学
H01
基本电气元件
H01J
放电管或放电灯
H01J37/00
有把物质或材料引入使受到放电作用的结构的电子管,例如为了对其检验或加工的
H01J37/30
物体局部处理用的电子束管或离子束管
H01J37/317
用于改变物体的特性或在其上加上薄层的,如离子注入
法律状态
2020-04-21 :
授权
注:本法律状态信息仅供参考,即时准确的法律状态信息须到国家知识产权局办理专利登记簿副本。
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